其自主研⛴发的掩模缺陷检测🇱🇹🆙、晶圆🇸🇱🔯缺陷检测及晶圆套⚖刻测量设备，多项🎃⌨指标均优2️⃣。
其在 LIBE🌰51草榴RO 综合表现达🕙🛥到 99.🇦🇽🇦🇺1%，真🍠机评测（Ta📦🧟♂️。
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其自主研⛴发的掩模缺陷检测🇱🇹🆙、晶圆🇸🇱🔯缺陷检测及晶圆套⚖刻测量设备，多项🎃⌨指标均优2️⃣。
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